潔凈廠房空調(diào)設(shè)計實踐及存在的問題

潔凈廠房空調(diào)設(shè)計存在較多常見的具體問題, 現(xiàn)介紹一下我們工程實踐的一些經(jīng)驗。

一、合理確定室內(nèi)的溫、濕度參數(shù)

除工藝有特殊要求, 明確規(guī)定溫、濕度參數(shù)外, 潔凈空調(diào)系統(tǒng)與普通空調(diào)系統(tǒng)同樣面臨合理確定室內(nèi)空調(diào)溫、濕度參數(shù)的問題, 而這一點常常在設(shè)計時被忽略。國外實踐證明, 對潔凈室這種特殊工作條件,室內(nèi)熱環(huán)境對人的生理、心理影響直接關(guān)系到工作效率, 間接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。

普通空調(diào)系統(tǒng)中的各類公共建筑, 其室內(nèi)參數(shù)的選取主要決定于熱舒適和空氣品質(zhì)。在此前提下,夏季一般盡可能在允許范圍內(nèi)選用較高的室溫和較大的相對濕度, 冬季則相反。對于普通空調(diào)系統(tǒng), 這樣選取參數(shù)的結(jié)果, 不僅可以減少經(jīng)圍護結(jié)構(gòu)的傳熱負荷及占總負荷比例很大的新風(fēng)負荷, 而且由于夏季送風(fēng)的機器露點溫度相應(yīng)提高, 使得夏季對空氣冷卻設(shè)備及對冷凍水供水溫度的要求都相應(yīng)降低; 冬季所耗供熱量及加濕量也相應(yīng)減少。在很多情況下, 還可能因加大了送風(fēng)燴差而減少了送風(fēng)量。因此,對于這類建筑空調(diào)系統(tǒng), 可明顯降低初投資和節(jié)約經(jīng)常運行的能耗。

　　而對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)卻略有不同, 一般來說, 為便于維持室內(nèi)潔凈度, 潔凈室一般很少有外圍護結(jié)構(gòu), 經(jīng)圍護結(jié)構(gòu)傳遞的冷、熱負荷不多。而人員、燈光及工藝設(shè)備產(chǎn)熱所致的負荷量基本上與室內(nèi)參數(shù)無關(guān)。同時, 絕大多數(shù)情況下, 送風(fēng)量決定于潔凈級別的需要, 也與室內(nèi)設(shè)計參數(shù)無關(guān)。唯一受影響大的是新風(fēng)負荷量, 除排風(fēng)量較大的潔凈室外, 新風(fēng)負荷通常所占總負荷的份額不大, 新風(fēng)量全年也是固定的。

正因為與普通空調(diào)系統(tǒng)存在著這種差別, 同時必須考慮到潔凈室工作人員身著與潔凈級別相配套的潔凈工作服。高級別工業(yè)潔凈室或無菌室一般是內(nèi)外兩層潔凈服, 按ISO一77 30 標準測算, 潔凈室服裝的熱阻R 在0.12m²·k/w 至0.16m²·k/w范圍, 相當于美國學(xué)者A.P.Gagge

所提出的衣服熱阻單位0.8一1.0clo。

在潔凈室中, 同樣應(yīng)依據(jù)人體熱舒適方程和PMV( Predicted Mean vote 預(yù)期平均評價) 和PPD (Predicted Percentage of Dissatisfied) 指標來評價熱環(huán)境, 其出發(fā)點不僅是熱舒適, 而歸根結(jié)底是為了保證潔凈室人員高效率的工作狀態(tài), 這一點對于需要進行的各種精細、準確、快速操作的高級別工業(yè)潔凈室尤為重要。

按ISO一7730 標準中評價熱環(huán)境的指標, 應(yīng)綜合考慮人體活動程度、衣著情況、空氣溫度、平均輻射溫度、空氣流動速度和空氣濕度等六個因素。與普通空調(diào)房間不同, 由于潔凈室換氣次數(shù)大, 空氣流速一般都較高, 平均輻射溫度更接近于室內(nèi)溫度, 同時大部分潔凈室工藝允許的相對濕度范圍又較窄。

潔凈室人員的能量代謝率一般在70一一l00w/ m²的范圍, 相當于1.2 到1.7met( metablic rate= 某活動強度時的能量代謝率與靜坐時的能量代謝率之比)

根據(jù)上述條件測算, 并對一些潔凈室進行了調(diào)查, 提出了如下建議, 除工藝有特殊要求外, 對較低級別的潔凈室如制藥、食品、化妝品等行業(yè), 全年溫、濕度宜控制在23 士4 ℃ 及50 土15% 范圍內(nèi), 冬、夏季設(shè)計工況分別選取范圍內(nèi)偏低和偏高值。較高級別潔凈室, 在工藝無特殊要求的情況下, 全年溫、濕度宜在23土2 ℃ 及50 土10 范圍內(nèi)。高級別潔凈室, 宜在23 土1℃ 及50 士5% 范圍內(nèi)。如圖1 所示。

由于滿足潔凈要求的通風(fēng)量一般遠大于普通空調(diào)系統(tǒng)滿足熱、濕負荷所需送風(fēng)量, 因此送回風(fēng)溫差一般都很小, 并隨著潔凈級別的增高而減小。高級別潔凈室往往只有1一2 ℃ , 甚至送回風(fēng)溫差不足1℃ ,室內(nèi)溫、濕度控制在允許的溫度波動范圍內(nèi)一般不成問題, 當然若有室內(nèi)集中熱源, 采取必要的排熱、隔熱措施也是必要的。

從圖1可以看到, 所推薦的潔凈室溫、濕度設(shè)計值范圍與著名的熱舒適及室內(nèi)空氣品質(zhì)專家, 丹麥的Fanger 教授在美國堪薩斯州立大學(xué)通過實驗所得到的舒適區(qū)域( 其適用條件是身著0.6一0.8clo服裝坐著的人), 以及ANS I/ A SHR AE 55一1992 所推薦的熱舒適區(qū)域( 適用于身著0.6一0.8clo服裝坐著但活動量稍大的人)。兩塊舒適區(qū)重疊部位被認為是較為理想的室內(nèi)熱舒適區(qū)域。

也可以看到所推薦的低級別潔凈室的溫、濕度區(qū)范圍, 特別是溫度的上、下限方面, 超出了美國所推薦的舒適區(qū)。主要出于節(jié)能方面的考慮, 其中也考慮到中國人的飲食習(xí)慣、攝人熱量、新陳代謝機能與美國人不同的因素, 而高級別潔凈室的室內(nèi)溫、濕度推薦范圍, 則基本上在最佳熱舒適區(qū)域內(nèi)。

二、潔凈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計問題

絕大多數(shù)情況下, 由于潔凈室滿足潔凈度要求所需通風(fēng)量遠大于滿足溫、濕度要求所需通風(fēng)量。因此潔凈室空氣處理系統(tǒng)( A HU )通常都是二次回風(fēng)系統(tǒng), 僅新風(fēng)和小部分回風(fēng)進人空調(diào)裝置進行熱、濕處理, 隨后與大部分循環(huán)風(fēng)即二次回風(fēng)混合, 經(jīng)過濾后進人空氣輸配系統(tǒng)。在一些低級別潔凈室設(shè)計中普遍存在的問題有如下幾點:

1、某些設(shè)計單位的作法是按潔凈室不同級別的送風(fēng)量的要求, 統(tǒng)計所需風(fēng)量。以此為主要依據(jù)選定空調(diào)機組, 所需冷、熱負荷量的計算結(jié)果僅作為選取空調(diào)機組的參考。一般情況, 按風(fēng)量選取的機組型號, 其相應(yīng)配置的冷、熱盤管在空調(diào)標準工況下的供冷、供熱量遠多于所需量; 因此認為所選機組是符合要求的。至于所需送風(fēng)狀態(tài)參數(shù), 認為反正可通過水溫、水量及一、二次回風(fēng)量調(diào)節(jié)來滿足。因此所選空調(diào)機組各功能段斷面尺寸是一致的。實際上, 除二次回風(fēng)及風(fēng)機段、中效過濾及出風(fēng)段應(yīng)滿足總風(fēng)量要求外, 其它的大部分功能段: 新、回風(fēng)段、粗效過濾、表冷、加熱、加濕段等處理的風(fēng)量往往僅是總風(fēng)量的1/3 至1/ 2, 斷面尺寸可大大縮小, 這不僅可節(jié)省建筑面積及空間, 而且冷、熱交換設(shè)備也將處于效率較高的經(jīng)濟流速下。

較為合理的潔凈空調(diào)機組, 應(yīng)為橫斷面不同的兩部分組成。前段以需要進行熱、濕處理的空氣量為準, 后段以總送風(fēng)量為準。前后兩段在送風(fēng)機的進風(fēng)箱處連接, 一般風(fēng)阻很小, 且不影響風(fēng)機效率。

目前普遍存在的另一問題是風(fēng)機出風(fēng)口與中效過濾器段緊緊相鄰, 而出風(fēng)機風(fēng)口未設(shè)有效的均流裝置, 因而出風(fēng)口迎面的過濾器的過風(fēng)量大, 箱體斷面四角甚至可能有回流現(xiàn)象發(fā)生, 影響了過濾設(shè)備的整體效率。

2、合理的設(shè)計程序應(yīng)是

( ⅰ) 根據(jù)室內(nèi)參數(shù)及室內(nèi)熱、濕負荷, 確定經(jīng)空調(diào)熱、濕處理后應(yīng)達到的機器露點。當一套空調(diào)凈化系統(tǒng)供應(yīng)多個房間時, 以主要房間的熱、濕負荷, 或能兼顧多個房間室內(nèi)參數(shù)的熱、濕負荷比以及是否設(shè)置二次加熱等因素, 來確定機器露點。由于潔凈室送風(fēng)與室內(nèi)燴差小, 各房間溫、濕度較易控制在允許范圍, 一般采用二次回風(fēng), 無須設(shè)二次加熱或冷卻。

(ⅱ) 根據(jù)全熱負荷或濕負荷及滿足凈化要求的送風(fēng)量, 確定二次混合狀態(tài)點, 忽略風(fēng)機溫升, 此點即送風(fēng)狀態(tài)點。對于風(fēng)機溫升可以有兩種處理方法, 一是將風(fēng)機熱負荷計為室內(nèi)負荷, 一是根據(jù)預(yù)測的風(fēng)機溫升相應(yīng)調(diào)整機器露點, 由于凈化空調(diào)機組克服各級過濾器阻力所需機外靜壓值較大, 風(fēng)機配用電機功率較大, 風(fēng)機溫升應(yīng)予以考慮。

(ⅲ) 因機器露點、室內(nèi)狀態(tài)點及送風(fēng)參數(shù)點已定, 經(jīng)空調(diào)機組處理的風(fēng)量( G_A), 通常是新風(fēng)量( G₀) 與一次回風(fēng)量( G₁)之和。根據(jù)所需空調(diào)處理風(fēng)量與新風(fēng)量即可確定一次回風(fēng)量。

G₁ = G_A ― G₀

例外的情況可能發(fā)生, 譬如G_A =G₀, 則表明新風(fēng)量較大, 無一次回風(fēng); 此時, 二次回風(fēng)與一次回風(fēng)合二為一, 需將新風(fēng)從室外參數(shù)點直接處理到機器露點。如果G₁< G₀, 則表明排風(fēng)量很大, 需補給的新風(fēng)量很多, 所確定的送風(fēng)參數(shù)點滿足不了新風(fēng)量的要求。此時, 如果在室內(nèi)溫、濕度允許范圍內(nèi), 調(diào)低室溫或提高相對濕度, 以適當調(diào)整二次混合點位置, 加大新風(fēng)量占總風(fēng)量的比例, 以滿足設(shè)計工況下新風(fēng)量的需要。否則就不得不采用二次加熱的方案。這種新風(fēng)量大, 又有處理過程的冷、熱量抵消的高能耗方案應(yīng)盡可能在設(shè)計中避免。

一般情況滿足潔凈室凈化級別的風(fēng)量, 大于滿足熱、濕負荷的風(fēng)量。因此潔凈空調(diào)系統(tǒng)通常是二次回風(fēng)系統(tǒng)。但特殊情況是存在的, 在制藥、醫(yī)療器械等的一些潔凈級別低, 而熱、濕負荷又很大的車間, 可能要以滿足溫、濕度要求所計算得到的通風(fēng)量來決定空調(diào)凈化系統(tǒng)的總風(fēng)量。例如作者與新加坡Quest公司合作, 為以生產(chǎn)一次性注射器等醫(yī)療用品為主的福建某合資企業(yè)所設(shè)計的10萬級潔凈車間, 因工藝發(fā)熱量很大, 夏季單位面積冷負荷指標高達7 56 w/ m², 因此滿足室內(nèi)溫、濕度要求的設(shè)計通風(fēng)量換氣達到59 次, 遠高于滿足潔凈度所需的通風(fēng)量。

三、高級別潔凈室設(shè)計的一些問題

1 、目前來看, 高級別潔凈室目前主要用于超大規(guī)模集成電路( ULSI)、薄膜晶體管液晶顯示器( TFT一CL D) 等工藝。

這類潔凈廠房的特點是: 投資規(guī)模大, 通風(fēng)換氣量大, 產(chǎn)品及工藝更新快。此外對生產(chǎn)環(huán)境控制要求嚴, 且隨產(chǎn)品更新要求更趨嚴格。因此, 從技術(shù)經(jīng)濟綜合優(yōu)化的標出發(fā), 在這類潔凈室設(shè)計時, 充分考慮生產(chǎn)環(huán)境能具備適應(yīng)工藝快速變化的靈活性是其基本原則之一。

從能耗方面來看, 這類潔凈室由于通風(fēng)換氣量大, 溫、濕度控制、壓差控制要求嚴格, 因此空調(diào)凈化設(shè)備運行能耗往往占工廠總能耗比例高達40 % , 與一般空調(diào)系統(tǒng)不同, 其空氣輸送動力可占到空調(diào)凈化系統(tǒng)總耗電量的一半以上, 而冷、熱源設(shè)備能耗量僅占不足一半。

這類潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的室內(nèi)負荷由生產(chǎn)設(shè)備、風(fēng)機熱轉(zhuǎn)化負荷、照明、人員和建筑負荷等組成, 一般情況前兩項占空調(diào)室內(nèi)負荷的90 % 以上。

這類潔凈室因室內(nèi)人員少, 又無其它濕源, 因此熱、濕負荷比值ε≈+∞, 而且室內(nèi)全年負荷變化甚少, 全年都需要排除室內(nèi)余熱。在中國大部分地區(qū), 其冬、夏季處理過程如圖2 所示。

2、降溫去濕的方法及所需冷量

高級別潔凈室一般都是按橫斷面風(fēng)速確定總送風(fēng)量, 又按維持正壓、排風(fēng)以及衛(wèi)生等要求確定新風(fēng)量。新風(fēng)不僅涉及熱、濕負荷耗量, 同時還關(guān)系到過濾大氣塵埃的負擔, 宜在可能范圍內(nèi)盡量降低。

依據(jù)經(jīng)驗, 一般新風(fēng)量約在30 m³ /h·m² 至60 m³ /h·m², 約相當于8一16 次換氣, 或占總風(fēng)量比例的2一4%。由于新風(fēng)量與總送風(fēng)量已定, 送風(fēng)焙差或溫差即送風(fēng)參數(shù)點由室內(nèi)負荷及總風(fēng)量確定。以室外大氣壓為10 1 kaP ( 標準大氣壓), 設(shè)計參數(shù)分別為23 ℃ 、50 % , 熱、濕負荷比。ε≈+∞的某潔凈室為例, 潔凈室斷面風(fēng)速為0.355m/s ( 70 fpm ), 單位面積送風(fēng)量為1280m³ /h·m²。從表中數(shù)據(jù)可以看出, 除非室內(nèi)負荷大致在150kcal/h·m²( 含風(fēng)機溫升) 以下, 否則單靠對新風(fēng)進行冷、熱負荷處理是滿足不了潔凈室送風(fēng)參數(shù)的要求, 即潔凈室的溫、濕度不能予以保證。

在此情況下, 可以有多種選擇方案。

一種常見的方案是根據(jù)室內(nèi)負荷、送風(fēng)量確定送風(fēng)參數(shù), 即二次混合比后, 根據(jù)一次送風(fēng)量和新風(fēng)量的差值, 例如參考表1 所列的數(shù)據(jù), 室內(nèi)冷負荷為400 k cal /h·m² ( 46 5 w/ m² ), 滿足室內(nèi)設(shè)計參數(shù)所要求的,經(jīng)空調(diào)處理的風(fēng)量為148 m³ /h·m², 若新風(fēng)量僅60 m³ /h·m², 則其差額即為一次回風(fēng)量。以本例來看, 需經(jīng)空調(diào)處理設(shè)備進行冷熱處理的風(fēng)量約為150 次換氣, 其量是很可觀的。但因為有了一次回風(fēng)與新風(fēng)的混合, 使空氣處理過程變得較為容易實現(xiàn), 因為相對于全新風(fēng)空調(diào)處理過程, 所要求的燴降量減少, 冷凍水進水溫度可以提高。即使空氣處理機房與潔凈室相鄰, 在技術(shù)上也沒有困難, 但對于室內(nèi)負荷較大的潔凈室, 其空調(diào)設(shè)備的容量、占地及空調(diào)處理空氣的送、回風(fēng)管道需占據(jù)空間, 往往也是值得考慮的問題。

針對上述問題的另一方案是采取室內(nèi)循環(huán)風(fēng), 也就是二次回風(fēng)就地冷卻, 以解決新風(fēng)不能提供所需全部冷負荷的問題, 這也是當前許多高級別潔凈室的習(xí)慣作法。通常在潔凈室回風(fēng)靜壓箱與回風(fēng)豎井交接處設(shè)置水冷式表冷器, 一般都處于干工況, 供水溫度大多在14一巧℃ , 可以通過電動閥來調(diào)節(jié)由冷水機組直供的冷凍水, 或者來自空調(diào)機組的冷凍水回水與循環(huán)水的比例來控制供水溫度。電動三通閥的動作由中心控制室根據(jù)室溫變化給出影響的指令。這種處理過程在i一d 圖上表示如下:

如果循環(huán)風(fēng)不經(jīng)冷卻與狀態(tài)L 的新風(fēng)混合, 其混合狀態(tài)點C1 將比所需送風(fēng)參數(shù)點O 的燴值高。為了保證室內(nèi)設(shè)計溫度循環(huán)風(fēng)所需的總冷量為  

由上式可以明顯看出,Q2值等于房間所需冷量G(in 一10) 與新風(fēng)所提供的冷量G1 ( in 一i)L 的差值。因為循環(huán)風(fēng)量很大, 工程應(yīng)用中, 并不需要在全部循環(huán)風(fēng)道上設(shè)置干冷表冷器, 而是在保證送風(fēng)靜壓箱風(fēng)溫均勻的前提下, 間隔地設(shè)置帶阻尼的回風(fēng)口及表冷器。部分循環(huán)風(fēng)經(jīng)表冷器后一般溫降3一5 ℃ , 再與未經(jīng)表冷器處理的空氣混合到室內(nèi)送風(fēng)狀態(tài)。

3、高級別潔凈室常常需要暖通參與決策的另一個較大的空調(diào)凈化通風(fēng)方案是空氣循環(huán)方式。

無論是全面垂直單向流方式、開放灣( opening bay type) 或是潔凈隧道方式(tunnel type), 都存在空氣循環(huán)方式的選擇問題。目前來看, 采用模塊式風(fēng)機單元(MFU一Fan Module Uint ) 方式及風(fēng)機過濾器機組( FFU一Fan Filter unit ) 方式, 循環(huán)空氣多于再循環(huán)風(fēng)機一管道方式( Recycle

Fan 一Duct  Type)。與FFU 方式不同的是,FMU 方式是一臺送風(fēng)機供給多臺ULP A 過濾器所需循環(huán)風(fēng)量。例如,

Motorola 西青芯片廠一臺送風(fēng)機負責20 臺左右2 英尺* 4 英尺的U LPA 過濾器?？諝庋h(huán)是無風(fēng)道方式, 與廠房作為一體而成。由于風(fēng)機室和送風(fēng)靜壓箱各自獨立, 因此維修、更換容易, 在各種空氣循環(huán)方式中, 其空氣動力消耗最小。( 見表2 )

與FFU方式相比, 由于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)壓力均一, 只要ULPA 過濾器阻力相同, 出風(fēng)就十分均勻; 而FFU方式一般需要依據(jù)要求的出風(fēng)風(fēng)速, 逐臺調(diào)整風(fēng)機的可變電容或其它調(diào)速裝置。

與FFU方式相比,FM U 方式如果有一臺風(fēng)機故障停機時, 對潔凈室影響不大; 而F FU 方式在風(fēng)機發(fā)生故障時, 此臺設(shè)備將無風(fēng)送出, 而使周圍潔凈度都受影響。F FU 方式較FMU 方式風(fēng)機數(shù)量多5一2 0 倍, 風(fēng)機與過濾器又成一體, 因此維修隱患和難度均略大。

此外FFU方式在噪聲控制方面也較FMU 與RC F一D 方式要困難些, 但FFU 方式適應(yīng)工藝變更的靈活性是最突出的, 在工藝變更時, 只要將各臺FF U 的供電線路重新組合, 將操作面和生產(chǎn)線上方的各臺FFU機組并聯(lián)到另一變頻控制器上, 可以分別調(diào)整供電頻率, 使F F U 的風(fēng)機在不同轉(zhuǎn)速下工作, 送出不同速度的潔凈空氣, 在大面積潔凈室中按需要區(qū)別出不同的潔凈級別。

各種循環(huán)方式應(yīng)結(jié)合工程實際, 絕對的優(yōu)或劣往往是不存在的。